氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
机翼整体油箱的密封是机翼翼盒制造技术中的关键，其密封性能直接影响~飞机的服役与安全。机翼整体油箱容积大、密封性要求高，传统的检漏方法采用气密试验和油密试验，这些方法存在精度低、成本高、定量困难、效率不高等缺点，而且进行油密试验需要向整体油箱中注入大量的航空煤油，在没有配备油密防爆厂房和油密试验台的条件下，存在巨大的安全隐患。 因此，急需一种检测精度和、的先进泄漏检测技术来克服.上述困难，以提高整体油箱的制造水平和生产效率。
检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。
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